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日本ULVAC VS1501/2401油旋片真空泵 用途：
镀膜、溅射、离子镀、气体置换、充填、真空隔热、真空热处理炉、烧结炉、真空干燥、冷冻干燥、真空脱气、检漏装置、真空成形、真空镀造、真空包装、真空吸附等
型号 | VS1501 | VS2401 | |
几何抽速L/min | 2500 | 4000 | |
极限压力Pa | 气镇阀关 | 5.3 | |
气镇阀开 | 80 | 40 | |
电机（kw）/极数 | 5.5/4 | 7.5/4 | |
所需油量 L | 8.0-10.5 | ||
冷却水量L/min | 4 | 5 | |
冷却水压 Mpa(表压) | 0.3 | ||
水压差 Mpa | 0.1 | ||
重量 kg | 231 | 267 | |
