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3、扩散硅压力传感器:
扩散硅压力传感器工作原理也是基于压阻效应,利用压阻效应原理,
被测介质的压力直接作用于传感器的膜片上(不锈钢或陶瓷),
使膜片产生与介质压力成正比的微位移,使传感器的电阻值发生变化,
利用电子线路检测这一变化,并转换输出一个对应于这一压力的标准测量信号。
利用应变电阻式工作原理,采用硅-蓝宝石作为半导体敏感元件,
具有的计量特性。因此,利用硅-蓝宝石制造的半导体敏感元件,
对温度变化不敏感,即使在高温条件下,也有着很好的工作特性
;蓝宝石的抗辐射特性*;另外,硅-蓝宝石半导体敏感元件,无p-n漂移。
电阻应变片是压阻式应变传感器的主要组成部分之一。
金属电阻应变片的工作原理是吸附在基体材料上应变电阻随机械形变而产生阻值变化的现象,俗称为电阻应变效应。
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