KOGAENI不锈钢调压阀主要技术指标
采用多孔中空丝膜滤芯，保证了同样情况下平膜小芯10倍以上的接触面积。
●过滤精度高、小型流量大、寿命长
●是适合于IC制造装置等吹气式终端过滤器
当减压阀的输出压力较高或通径较大时，用调压弹簧直接调压，则弹簧刚度必然过大，
流量变化时，输出压力波动较大，阀的结构尺寸也将增大。
为了克服这些缺点，可采用先导式减压阀。
先导式减压阀的工作原理与直动式的基本相同。
先导式减压阀所用的调压气体，是由小型的直动式减压阀供给的。
若把小型直动式减压阀装在阀体内部，则称为内部先导式减压阀；
滤芯是PTFE制膜和PTFE制不织布构成的双重构造确保了本产品的安定的性能。
可以100%地捕捉0.01μm的微粒子
使用的部件在无尘清洁室里进行了精密清洗。附着的微粒子极少，能立即投入使用。
若将小型直动式减压阀装在主阀体外部，则称为外部先导式减压阀。
图14—2所示为内部先导式减压阀的结构图，与直动式减压阀相比，
 

KOGAENI不锈钢调压阀主要技术指标

不锈钢调压阀RS系列 于液晶、半导体相关工序中的各种溶剂、纯水线路中传送气体的压力控制、喷气压力控制，洁净空气、气体压力控制等，需要耐腐蚀性的食品相关、无油脂、无润滑油的生产线。 压力设定 MPa 处理空气量 配管连接口径 0.05～0.7 0～ 800 l/min M5～Rc1/4 精密不锈钢调压阀PRS系列 液晶、半导体相关工序中的各种溶剂、纯水线路中传送气体的压力控制、喷气压力控制，洁净空气、气体压力控制等的高精度设定（感度0.001MPa）。 压力设定 MPa 处理空气量 配管连接口径 0.01～0.25 0～ 250 l/min M5～Rc1/4