MX61L半导体检查显微镜

MX61L半导体检查显微镜

参考价: 面议

具体成交价以合同协议为准
2022-10-21 16:31:29
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上海维翰光电科技有限公司

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产品简介

能对应300 mm晶圆和17英寸FPD玻璃基板的电动型号(反射透射兼用)

详细介绍

能对应300 mm晶圆和17英寸FPD玻璃基板的电动型号(反射透射兼用)

应对明视场观察到荧光观察的多种观察方法。切换物镜时自动调节连动的亮度光圈等,实现了舒适的检查环境。配备14×12英寸载物台,能应对大型样本。

半导体/FPD检查显微镜MX61L
 

观察影像实例
  
晶圆(明视场观察)晶圆(暗视场观察)
  
晶圆(微分干涉观察)彩色滤色片(透射观察)

半导体/FPD检查显镜 MX61L 规格

光学系统

UIS2光学系统(无限校正

机身

察方

明视场/暗视场/微分干涉/简易偏振光/荧光

反射/透射

反射/透射

照明装置

机身一体型(明视场,暗视场1

照明系统

反射照明

100 W/100 W水银/75 W氙

透射照明

纤维

单元

电动/手动

手动

行程

32 mm

分辨率/微调灵敏

微调钮转动1周移动0.1 mm

z大样本高

30 mm

物镜转换器

电动型

明视场微分干涉6孔
明暗视场
微分干涉5孔
明暗视场
微分干涉6孔
明暗视场
微分干中心5

手动式

-

行程

14×12 英寸右下手柄:356(X)×305(Y)mm(透射照明范围356×284 mm)

广角视场视场22

倒置

双目/三目观

正像

三目观

超宽视场视场26.5

倒置

三目观

正像

斜三目

附件单元

DUV/IR/电动载物台/自动

外形尺寸

710(W)×843(D)×507(H)mm(标

重量

51 kg(标

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