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爱德华E2M80双级油式旋片真空泵是理想中的中、高真空获得设备,用于抽除普通空气或惰性气体和少量可凝性蒸汽。产品用途:
主要应用于真空镀膜、微电子、光电半导体、封装测试、真空含浸、等离子清洗行业。产品参数:
抽 速:每小时80立方米;
真空 度:0.004mbar;
极限真空度:0.0004mbar;
功 率:2.2kw;
进气口径:ISO40;
排气口径:NW25;转速:1450rpm
电 压:三相380V;
体积(长宽高):870*266*428mm;
重 量:125kg;
噪 音:70dB;
油 量:5L
产品关键词:双级油式旋片真空泵、爱德华E2M80真空泵、高真空度真空泵