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气体质量流量控制器,即Mass Flow Controller(缩写为MFC),是一个可以手动设定或与电脑连接自动控制的气体稳流装置,能在较宽的量程范围内快速而精确的控制气体流量。即使系统压力有波动或环境温度有轻微变化,也不会影响其正常的工作。原则上不需要温度和压力补偿。
(1)气体流量的测量和控制不因温度或压力的波动而失准。
(2)气体测量控制的自动化
4.2工作原理
编号 | 项目 | MF-200C | MF-200M |
1 | 流量规格(N2) | 10sccm~30slpm | |
2 | 准确度 | ±1%F.S(Full Scale) | |
3 | 重复精度 | ±0.25%F.S(Full Scale) | |
4 | 响应时间 | ≤2sec(特别要求时:≤1sec) | |
5 | 耐压 | ≤90bar | |
6 | 工作环境温度 | 0℃~50℃ | |
7 | 输入输出信号 | 0~5V | 0~5V or 4~20mA |
8 | 供电 | +15Vdc or +24Vdc 350mA | |
9 | 漏率 | 1×10atm.cc/sec | |
10 | 使用范围 | 2~100%满量程 |