系統/機種

LP-1100 HS

LP-1300 HS

腔體直徑

1,100 mm

1,300 mm

腔體長度

1,100 mm

1,500 mm

可蒸鍍尺寸

∮220x1,000mmx 6

∮250x1,400mmx 8

視窗

1組

鎢舟數

4個

5個

迴轉幫浦

6,000公升/  每分鐘

6,000~10,000公升/  每分鐘

加強幫浦

1,500 M3/  每小時

2500 M3/  每小時

擴散幫浦

20,000公升/  每秒

45,000公升/  每秒

高真空閥

24英吋

36英吋

粗抽閥

6英吋

預抽閥

6英吋

洩氣閥

2英吋

到達真空度

10-6  Torr

排氣速度

從1個大氣壓到 2x10-4 Torr 約5分鐘  (空爐時)

操作方式

自動,手動

蒸著電源

10KW

30KW

真空計

Pirani + Cold  Cathode (1ATM ~ 10-6 Torr)

控制箱

1組

冷卻系統

水壓: 4Kg/  cm2,壓差:2Kg/ cm2

冷卻水溫度

建議 入水18℃，出水25℃，標準溫度20±1℃

超低溫冷凍機

超低溫冷凍機-110~-140℃ (採用環保冷媒) 另外選配

空壓機

3HP (空壓:  6 ~ 8 Kg/ cm2)

所需電力

40KW

50KW