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1200度Φ60滑轨管式炉主要内容:
该设备主要用于CVD法制备石墨烯而研制的炉,也同样适用于要求升降温速度较快的CVD实验。炉体采用开启结构,炉底安装有直线滑轨,当石墨烯生长结束后,左右灵活拉动炉体,能够保证有足够的空间使实验样品移出炉体,实验快速降温的要求。
技术参数:
工作电源:单相 220V 50/60Hz 3Kw
1200度Φ60滑轨管式炉标准配件
坩埚钳1把、刚玉舟1只、炉钩1把、管堵2只、石英管1根、304法兰1套、密封圈4只、浮子流量计1只、耐高温手套1双、产品说明书1份、仪表说明书1份、保修证书1份。
可选配件
1、二三四路浮子或质子流量供气系统。
2、DZK10-1低真空系统或GZK10-3高真空系统。
3、300W或500W等离子射频电源。
4、可选配移动炉架,将管式炉放置在炉架上。
注意事项
1、为了不影响设备正常使用寿命,请不要过快升降温。
2、请不要往管内通入超过0.02MPa的气体压力。
3、本设备使用一段时间后,炉膛会出现微小裂纹,属于正常现象,不会影响使用,可向业务人员免费索取氧化铝涂层修补剂。
4、由于气瓶内部气压较高,所以向炉管内通入气体时,气瓶上必须安装减压阀,建议在本公司选购减压阀,本公司减压阀量程为0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加精确安全。
5、当炉体温度高于1000℃时,炉管内不可处于真空状态,炉管内的气压需和大气压相当,保持在常压状态。
6、进入炉管的气体流量需小于200SCCM,以避免冷的大气流对加热石英管的冲击
7、石英管的长时间使用温度≤1100℃
8、对于只对样品加热的实验(不抽真空不通气体),不建议使用时关闭炉管法的抽气阀和进气阀。若需要关闭气阀对样品加热,您必须时刻关注压力表的指数(气压会随温度升降而变化),若压力表指数大于0.02MPa,必须立刻打开泄气阀,以防意外发生(如炉管破裂,飞出等)。