美国API激光干涉仪

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激光器发射单一频率光束射入线性干涉镜，然后分成两道光束，一道光束（参考光束）射向连接分光镜的反射镜，而第二道透射光束（测量光束）则通过分光镜射入第二个反射镜，这两道光束再反射回到分光镜，重新汇聚之后返回激光器，其中会有一个探测器监控两道光束之间的干涉（见图）。若光程差没有变化时，探测器会在相长性和相消性干涉的两极之间找到稳定的信号。若光程差有变化时，探测器会在每一次光程变化时，在相长性和相消性干涉的两极之间找到变化信号，这些变化会被计算并用来测量两个光程之间的差异变化。
    激光具有高强度、高度方向性、空间同调性、窄带宽和高度单色性等优点。目前常用来测量长度的干涉仪，主要是以迈克尔逊干涉仪为主，并以稳频氦氖激光为光源，构成一个具有干涉作用的测量系统。激光干涉仪可配合各种折射镜、反射镜等来作线性位置、速度、角度、真平度、真直度、平行度和垂直度等测量工作，并可作为精密工具机或测量仪器的校正工作。

主要特点：

    1. 同时测量线性定位误差、直线度误差(双轴)、偏摆角、俯仰角和滚动角
    2. 设计用于安装在机床主轴上的5D/6D传感器
    3. 可选的无线遥控传感器长的控制距离可到25米
    4. 可测量速度、加速度、振动等参数，并评估机床动态特性。
    5. 全套系统重量仅15公斤，设计紧凑、体积小，测量机床时不需三角架
    6. 集成干涉镜与激光器于一体，简化了调整步骤，减少了调整时间

激光干涉仪被来自世界的用户用于：

    CMM和 CNC的校准补偿
    机床导轨平行度的测量
    旋转轴的测量
    垂直度的测量
    对角线的测量
    CNC反馈
    机器人位置反馈
    激光干涉仪介绍：

5D/6D标准型：
    1. 线性：0.5ppm .
    2. 测量范围：40米(1D可选80米)
    3. 线性分辨力：0.001um.
    4. 偏摆角和俯仰角的精度：(1.0+0.1/m)角秒或1%显示较大值
    5. 大范围：800角秒
    6. 滚动角精度：1.0角秒
    7. 直线度精度：(1.0+0.2/m)um或1%显示较大值
    8. 直线度大范围：500um
    9. 垂直度精度：1角秒
    10. 温度精度：0.2摄氏度
    11.湿度精度：5%
    12.压力精度：1mmHg