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直线电机平台>>特点
模块化设计, 可选择装备无铁芯电机或铁芯电机
双重线导轨或滑轨系统
四种型号 ( DGL 140, 150, 180, 200 )
行程可从100mm到3000mm（可选无尘室盖板标准）
直接驱动, 无背隙和无嵌齿效应
模块的设计配备编码器
编码器的高分辨率有 5um, 1.0um或0.1um
速度可达5m/s，加速度可达10G
| 性能参数 | 单位 | 参考值 |
| 加速度 | G | 10 |
| 速度（分辨率为1μm） | m/s | 5（40μm光栅距和20MHz计数频率） |
| 速度（分辨率为0.5μm） | 2.5（20μm光栅距和20MHz计数频率） | |
| 速度（分辨率为0.1μm） | 1.3（20μm光栅距和20MHz计数频率） | |
| 速度（模拟量编码器） | 8（40μm光栅距和200KHz输入频率） | |
| 4（20μm光栅距和200KHz输入频率） | ||
| *直线度 | μm | ±3μm/25mm，NTE±8μm/300mm |
| *平面度 | ±3μm/25mm，NTE±8μm/300mm | |
| 重复精度（分辨率为1μm） | ±3μm（40μm光栅栅距） | |
| 重复精度（分辨率为0.5μm） | ±1.5μm（20μm光栅栅距） | |
| 重复精度（分辨率为0.1μm） | ±1μm（20μm光栅栅距） | |
| 重复精度（模拟量编码器） | ±5counts |
*所有的测量数值基于模组安装在平面度为5um的花岗岩台面上。
| 模组 | 轴承载荷 | 侧倾力矩 | 侧倾力矩 | 横摆力矩 | ||
| 单位 | N | NM | NM | NM | ||
| DGL150 | AUM2 | S2 | 2480 | 109 | 108 | 108 |
| S3 | ||||||
| S4 | ||||||
| AUM1 | S30 | 3944 | 173 | 236 | 236 | |
| L30 | 355 | 355 | ||||
| DGL180 | AUM3 | S2 | 213 | 236 | 236 | |
| S3 | 355 | 355 | ||||
| S4 | 355 | 355 | ||||
| AUM1 | S50 | 236 | 236 | |||
| L50 | 355 | 355 | ||||
| DGL200 | AUM4 | S2 | 256 | 236 | 236 | |
| S3 | 355 | 355 | ||||
| S4 | 355 | 355 | ||||
| ACM1 | S80 | 236 | 236 | |||
| L80 | 355 | 355 | ||||
| ACM2 | S1 | 355 | 355 | |||
| S2 | 473 | 473 | ||||
| ACM3 | S1 | 355 | 355 | |||
| S2 | 473 | 473 | ||||
| DGL250 | AUM5 | S2 | 345 | 236 | 236 | |
| S3 | 355 | 355 | ||||
| S4 | 355 | 355 | ||||
| ACM1 | S100 | 236 | 236 | |||
| L100 | 355 | 355 | ||||
| ACM4 | S1 | 9360 | 795 | 842 | 842 | |
| S2 | 1123 | 1123 | ||||
