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MSR100系列无铁芯双方导轨式直线电动位置平台
标准功能及配件：
框架宽度为100 mm
标准行程从25 mm到500 mm行程
重复位置精度为+/- 0.1微米
集成磁性（1.0微米），光学（1.0,0.1,0.01微米），模拟正弦/余弦或BiSS-C编码器选项
速度为3000 mm / sec
可选3或5极线性电机传动系统选件
有效载荷117 N
推力50 N
集成和可调零位和限位感应
提供标准多轴配置
具有每个精度级的斜率校正值的激光测试数据
| 系列 | mSR |
| 轮廓宽度（毫米） | 100 |
| 驱动类型 | 直线电机 |
| 螺杆引导选项 | 无铁芯伺服电机 |
| 轴承类型 | 双方轨轨道 |
| 冲程（毫米） | 500 |
| 冲程（英寸） | 19.68 |
| 速度（米/秒） | 3000 |
| 速度（英寸/秒） | 118.11 |
| 螺杆速度(RPS) | - |
| 加速度(米/ S2) | 29.4 |
| 加速度(英寸/ S2) | 1158 |
| 双向可重复性(UM) | 0.1 |
| 双向可重复性(THOU) | 0.00393 |
| 传动螺杆效率(%) | - |
| 占空比(%) | 100 |
| 一般载荷能力（牛顿） | 117 |
| 一般载荷能力（磅） | 26.4 |
| 反向承载力(牛顿) | 50 |
| 轴向载荷能力（磅） | 11.2 |
| 证书 | 洁净室（1000级 - 标准/ 10级 - 可选） |
| 线性反馈装置 | 是（编码器：0.01μm，0.1μm或1μm分辨率光学增量/1μm分辨率磁性/0.05μmBiSS-C/ 1Vp-p正弦/余弦） |
| IP评级 | IP评级 IP00 |
