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高洁净度的使用环境也是可以选用真空步进电机。特别的材料选择，完善的后端处理工艺使其在高洁净度的环境中也可表现出色。可根据需要配备相应等级的齿轮箱。应用户需求，与第三方工厂联合开发相应等级的齿轮箱。
摩森机电真空步进电机源于宇航技术，在很多具有挑战性的项目上都可以应用这项技术，HS真空步进电机在严苛的环境里驱动工作，高度精确，可靠，耐用。在规范范围内，高质量的组件和通过验证的设计确保电机的品质和耐用性。
HS真空步进电机>>特点
真空度10-1Pa至10-7Pa
温度等级多,-196~+300℃7个标准等级
可扩展耐辐射10-7Gy
两相混合式步进电机
保持扭矩从0.25 - 8.7N.m
法兰28mm、42mm、57mm、86mm
全系列定制开发特种轴承，可靠性高，余量富裕，寿命更长
特殊配方粘合剂，低出气率，高强度
双定位结构，精度高，可靠性好
特殊磁钢，耐高温，且具有耐候性。
可定制特殊温宽，如-170~+150℃
| 主要参数 | 等级代码 | 温度范围 | 电机机壳额定温度 | 真空度 | 旋变 | 双轴 | 温度传感器 |
| （℃） | （℃） | （pa） | （FK） | （SZ） | （TS） | ||
| 高真空 | VHT1 | -20.....+200 | +200 | 10-5 | 可选 | 可选 | 可选 |
| 高真空 | VHT2 | -20.....+160 | +160 | 10-5 | 可选 | 可选 | 可选 |
| 真空、高温 | SHT | -20.....+200 | +200 | 10-3 | 可选 | 可选 | 可选 |
| 真空、高温 | HT | -20.....+150 | +150 | 10-3 | 可选 | 可选 | 可选 |
| 低真空、宽温 | VTL1 | -20.....+200 | +130 | 10-1 | 可选 | 可选 | 可选 |
| 低真空、宽温 | VTL2 | -40.....+100 | +130 | 10-1 | 可选 | 可选 | 可选 |
| 低真空、宽温 | VTL3 | -60.....+100 | +130 | 10-1 | 可选 | 可选 | 可选 |
| 深低温 | LT | -100.....+40 | +100 | 10-7 | 可选 | 可选 | 可选 |
| 深低温 | SLT | -196....+40 | +100 | 10-7 | 可选 | 可选 | 可选 |
| 定制 | L*H* | 定制 | +300 | 10-7 | 可选 | 可选 | 可选 |
注：
[1]电机机壳短时温度指电机机壳外表温度的值，单次持续时长为5分钟。
[2]电机到达短时温度后，应等待电机温度恢复至额定温度范围内，方可再次使用。
真空步进电机产品国内行业空白，在真空高低温环境下，如生物、医疗、航空航天、雷达天线、轨道交通、科研等领域应用上起到了关键作用，整体提高了行业制造水平。
| 型号规格 | 步距角机身长 | 机身长 | 电流 | 相电阻 | 相电感 | 保持力矩 | 转到惯量 | 重量 |
| (。) | （mm） | (A) | (Ω) | (mH) | (Nm) | (g.cm) | (kg) | |
| HS2851** | 1.8 | 51 | 0.85 | 8.8 | 9.2 | 0.12 | 18 | 0.2 |
| HS4248** | 1.8 | 48/70(FK) | 1.5 | 1.8 | 2.5 | 0.3 | 68 | 0.38/0.6(FK) |
| HS5786** | 1.8 | 86/107(FK) | 2.5 | 1.3 | 2.7 | 0.8 | 350 | 1.2/1.5(FK) |
| HS86128** | 1.8 | 128/148(FK) | 6 | 0.6 | 2.8 | 4.5 | 2700 | 4.5/4.8(FK) |
| 步距角 | 1.8 | 绝缘等级 | C级 | |||||
| 径向间隔 | 0.02mm Max（450g负载） | 绝缘强度 | 500VAC 50HZ 1mA 1Minute | |||||
| 轴向间隔 | 0.08mm Max（450g负载） | 电机温升 | 80℃ Max(额定电流、常压) | |||||
| 电阻精度 | ±5% | 环境温度 | 等级可选 | |||||
| 电感精度 | ±10% | 径向负载 | 10N、28N、75N、220N max(距法兰面20mm） | |||||
| 绝缘电阻 | 100MΩ | 轴向负载 | 5N、10N、15N、60N、 Max | |||||
