紫外线消毒器对紫外线灯管对细菌或细胞照射使大量细菌或细胞中维持生命的主要构成成分核蛋白中的核酸分子因大量吸收紫外线而发生性变，从而破坏其活性，进而达到消毒杀菌的目的，使处理后的水质达到相关的处理标准。通常认为杀菌效果高的紫外线波长是260.0纳米，在现有的人工光源中，低压泵灯的特殊谱线253.7纳米与260.0纳米接近，所以具有明显的杀菌效果，但是一般的低压泵灯虽然在253.7纳米处集中了大部分辐射能量，在谱线185.0纳米处也具有相当的强度，波长小于200.0纳米的紫外线，能被空气很快吸收而产生臭氧。同时降低超纯水的电阻率，因此采用一般低压泵灯水杀菌装置不能满足电子工业超纯水系统的要求。 
本装置采取了特制的高强度无臭氧紫外线灯管和内壁经过特殊抛光处理的304不锈钢筒体，筒体处侧特殊抛光处理，使经过预处理的水在流过筒体时受到253.7纳米紫外线的足够线量的照射，具有良好的杀菌效果。