开放式冷水机芯片光刻机冷却

开放式冷水机主要由压缩机、蒸发器、冷凝器、电控系统、冷冻配件组件，水冷箱式冷水机则由压缩机、蒸发器、冷凝器、水泵、水箱、电控系统、冷冻配件组成，因此可以看出来，两者之间的不同之处在于水冷箱式冷水机可以内置水泵及水箱，反之则称为开放式冷水机。

安装配置：冷水机主要是为了给产品或设备提供冷冻水以达到制冷的目的。这两种冷水机都需要配用冷却水塔进行散热，但因为水冷箱式冷水机内置有水箱及水泵，因此安装的时候，用户只需要将冷水机组与冷却水塔连接起来，接通自来水即可投入使用。而开放式冷水机除了配用冷却水塔，还需要增加水泵及双层不锈钢保温水箱方能使用。

优点分析：水冷式冷水机内置不锈钢水箱及管道水泵，外形美观大方，配置完善，主要构件均由钢体外壳保护，可安放于生产车间内，安装简单，使用/维护方便。开放式冷水机不自带水箱及水泵，可根据需要外接水泵及水箱，优点是水箱的容积及水泵扬程不受限制，能更好地满足不同的工业设备配套需要。

冷水机按制冷形式一般可分为水冷式和风冷式，在技术上，水冷比风冷能效比要高出300到500的kcal/h；在价格上，水冷要比风冷低得多；在安装上，水冷需纳入冷却塔方可使用，风冷则是可移动，无需其他辅助，但风冷式冷水机只凭风扇散热，对环境有所要求：例如通风，湿度，温度不能高40°C，空气酸碱值等。

冷冻水的压力和温度——讲解

　　空调用冷水机组一般是在标准工况所规定的冷水回水温度12℃，供水温度7℃，温差5℃的条件下运行的。对于同一台冷水机组来说，其运行条件不变，外界负荷一定的情况下，冷水机组的制冷量是一定的。此时，通过蒸发器的冷水流量与供、回水温差成反比，即冷水流量越大，温差越小；反之，流量越小，温差越大。所以，冷水机组工况规定冷水供回水温差为5℃，这实际上是规定了机组的冷水流量。这种冷水流量的控制就表现为控制冷水通过蒸发器的太力降。

　　在标准工况下，蒸发器上冷水供回水压降调定为0.5kgf/cm2。其压降调定方法是调节冷泵出口阀门开度，和蒸发器供、回水阀门开度。阀门开度调节的原则是：蒸发器出水有足够的压力来克服冷水闭式循环系统中阻力；机组在负担设计负荷的情况下运行，蒸发器进、出水温差为5℃。此时进、出蒸发器的冷水压降为0.5kg/cm2左右。

　　按照上述要求，阀门一经确定，冷水系统各阀门开度大小就应相对稳定不变。即使在非调定工况下运行（如卸载运行）旱，各阀门也应相对稳定不变。应当注意，全开阀门加大冷水流量，减少进、出水温差的做法是不可取的。这样做虽然会使蒸发器的蒸发温度提高，机组的冷量有所增加，但水泵功率也因此而提高，两相比较得不偿失。所以，蒸发器冷水侧进、出水压降控制在49.05kPa(0.5kgf/m2)为宜。

　　一般来说，冷水供水管上的压力，只要能够满足克服冷水管系统中管道上的阴力损失就可以了，这可以从安装在冷水泵上的吸入压力表读数来判别。然后通过控制冷水泵出水阀的开度，可以调节冷水供水压力。将出水阀开度关小，则冷水泵背压提高，通过水泵的流量减少，水泵功率消耗下降，这时蒸发器的供水压力下降，但该压力无论如何也不应低于满足蒸发器供、回水压降为49.05kPa(0.5kgf/m2)的要求。

　　为了冷水机组的运行安全，蒸发器出水温度一般不低于3℃。此外，冷水系统虽然是封闭的，在蒸发器中水侧结垢和腐蚀不会像冷凝器那样严重，但从设备检查维修要求出发，应每年对蒸发器管道的水侧和冷水系统的其他管道清洗一次。

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