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深圳海纳光学专业代理X-LDM-AE系列的高精度线性平移台,也被称为1μm精度电控平移台或高精度线性平移台,英文名Linear Motor Stage。这款高精度电控平移台适用于要求出色的精度,和可靠性的应用。*安装的线性编码器可实现1μm的位置精度和一致的移动步长,步长低至25 nm。
X-LDM-AE采用高效无铁芯马达,提供高速和加速同时zui大限度地减少热量产生,从而提高可重复性。驱动器和编码器都是非接触式的,没有移动电缆,因此系统寿命很长。
有限行程的需求下,移动式磁道平移台可以提供更高的精度。因为平移台移动的部分是与电流及热源区隔分开的,使得移动能有更好的热稳定性及更低的电噪声干扰。并且stationary forcer是通电后会产生热的装置,被固定在当作散热器的系统底部,这也使得整个系统拥有更好的热稳定性。
X-LDM-AE仅需要标准的48 V电源。它们可连接到计算机的RS-232接口或USB接口,并且可以与任何其他Zaber产品进行多轴连接。并共享电源,使多个X系列产品可以共享一个电源。与Zaber的所有产品一样,X-LDM-AE系列设计为“即插即用”,易于设置和操作。X-LDM-AE设备还包括一个数字输入和两个数字输出,用于连接外部系统。X-LDM-AE方便使用于各种量测和真空实验,PL和EL实验还有自动化设备等应用上。
X-LDM-AE高精度电控平移台特点
- 高重复性80nm和精度1μm,Min增量移动25 nm
- 1 nm分辨率并有线性编码器
- 速度zui快可达1.2M/秒,加速度高达3.5g
- 60,110,210 mm三种行程选择
- 内置控制器; 并可与其他Zaber平台多轴串接
- 非接触式无铁芯直线电机,具有超精密,高动态和零间隙
- 一个数字输入和两个数字输出
- 可组合成双轴XY
重复性Repeatability:
在稳定条件下,指示设备移动到目标位置反复100次(每次从相同方向接近)时,实际位置的的偏差。
精度(单向)Accuracy (unidirectional):
当从相同方向,在任何两个位置之间移动时可能出现的误差。
增量移动Minimum Incremental Move:
定位轴增量移动的步长(Min机械增量)。
X-LDM-AE高精度电控平移台规格参数:
X-LDM-AE规格 | 参数 |
内置控制器 | Yes |
精度(单向) | 1 µm |
重复性 | < 0.08 µm |
Min增量移动 | 25 nm |
Max速度 | 1200 mm/s |
Min速度 | 0.000001 mm/s |
速度解析度 | 0.000001 mm/s |
编码器计数大小 | 1 nm |
编码器类型 | 线性模拟编码器 |
峰值推力 | 60 N |
峰值连续推力 | 35 N |
通讯接口类型 | RS-232 |
通讯协议 | Zaber ASCII(默认) |
max大中心负荷 | 120 N |
max悬臂负载 | 1200 N⋅cm |
指南类型 | 交叉滚子轴承 |
max消耗电流 | 3000 mA |
电源大小 | 48 VDC |
电源插头 | 2针螺丝端子 |
马达电机类型 | 动磁轨直线电机 |
马达电机额定电流 | 2400 mA/phase |
电感 | 1.24 mH/phase |
数据线 | 锁定4针M8 |
极限或家庭感应 | 光学标记 |
手动控制 | 带按钮的分度旋钮 |
运动轴 | 1 |
LED指示灯 | Yes |
安装接口 | M6螺纹孔 |
工作温度范围 | 10 to 40 °C |
真空兼容 | No |
RoHS 认证 | Yes |
CE 认证 | Yes |
数字输入 | 1 |
数字输出 | 2 |
X-LDM-AE高精度线性平移台参数对比:
型号 | 行程 | Max加速度 | 垂直抖动偏差 | 水平抖动偏差 |
X-LDM060C-AE54 | 60 mm (2.362 ") | 34.3 m/s2 (3.50 g) | < 4 µm (< 0.000157 ") | < 3 µm (< 0.000118 ") |
X-LDM110C-AE54 | 110 mm (4.331 ") | 24.5 m/s2 (2.50 g) | < 4 µm (< 0.000157 ") | < 3 µm (< 0.000118 ") |
X-LDM210C-AE54 | 210 mm (8.268 ") | 14.7 m/s2 (1.50 g) | < 8 µm (< 0.000315 ") | < 5 µm (< 0.000197 ") |
X-LDM060C-AE54D12 | 60 mm (2.362 ") | 34.3 m/s2 (3.50 g) | < 4 µm (< 0.000157 ") | < 3 µm (< 0.000118 ") |
X-LDM110C-AE54D12 | 110 mm (4.331 ") | 24.5 m/s2 (2.50 g) | < 4 µm (< 0.000157 ") | < 3 µm (< 0.000118 ") |
X-LDM210C-AE54D12 | 210 mm (8.268 ") | 14.7 m/s2 (1.50 g) | < 8 µm (< 0.000315 ") | < 5 µm (< 0.000197 ") |
型号 | Pitch | Roll | Yaw | Moving Mass |
X-LDM060C-AE54 | 0.003 ° (0.052 mrad) | 0.002 ° (0.035 mrad) | 0.002 ° (0.035 mrad) | 1.74 kg (3.828 lbs) |
X-LDM110C-AE54 | 0.005 ° (0.087 mrad) | 0.005 ° (0.087 mrad) | 0.002 ° (0.035 mrad) | 2.29 kg (5.038 lbs) |
X-LDM210C-AE54 | 0.01 ° (0.174 mrad) | 0.005 ° (0.087 mrad) | 0.005 ° (0.087 mrad) | 3.17 kg (6.974 lbs) |
X-LDM060C-AE54D12 | 0.003 ° (0.052 mrad) | 0.002 ° (0.035 mrad) | 0.002 ° (0.035 mrad) | 1.74 kg (3.828 lbs) |
X-LDM110C-AE54D12 | 0.005 ° (0.087 mrad) | 0.005 ° (0.087 mrad) | 0.002 ° (0.035 mrad) | 2.29 kg (5.038 lbs) |
X-LDM210C-AE54D12 | 0.01 ° (0.174 mrad) | 0.005 ° (0.087 mrad) | 0.005 ° (0.087 mrad) | 3.17 kg (6.974 lbs) |