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日立高新扫描电子显微镜S-3700N适合用于研究大件,较重,较高的样品。
▲zui大样品直径达300mm。
▲可观察范围直径达203mm。
▲可对高达110mm的样品进行观察和能谱分析。
▲通用型接口布局满足各种分析用途。
日立高新扫描电子显微镜S-3700N特点
特大型的样品室可装载zui大直径达300 mm的样品,还可同时安装EDX/WDX/EBSD等配件。其可载样品高度可达110 mm。
5轴马达驱动优中心倾斜、旋转、图像导航系统、样品台追踪、轨迹存储与中心复位等样品台的马达控制功能。
S-4800,SU-70及S-3400N均具有用户友好的GUI设计,这使得操作者经过简单培训即可操作。
显示系统有全屏显示,无闪烁,高像素和实时图像显示等优异的性能,它还可以实时信号混合并同时显示两个不同的检测器观测到的互不相同的样品信息。
可变压模式不需要金属喷涂,可以直接观察不导电样品。
高灵敏度半导体背散射电子检测器可以在快速扫描模式下运行,这使得寻找大尺寸样品中感兴趣的区域更为简单和便利。
标准配备涡轮分子泵(TMP),其清洁和干燥的真空条件zui大限度地减少了样品污染。区别于传统的扩散泵扫描电子显微镜,此款产品不需较大的加热功率或循环水箱,从而使得它成为一款节能,生态环保的扫描电子显微镜。
规格
项目 | 描述 | |
分辨率 | 二次电子分辨率 | 30kV时,3.0nm(高真空模式) 3kV时,10nm(高真空模式) |
背散射电子分辨率 | 30kV时,340nm(低真空模式) | |
放大倍率 | ×5-×300,000 | |
加速电压 | 0.3-30KV | |
低真空范围 | 6-270pa图形菜单 | |
图像移动 | ±50μm(WD=10mm) | |
zui大样品尺寸 | Ф300mm | |
样品台 | X | 150mm |
Y | 110mm | |
Z | 5-65mm | |
R | 360° | |
T | -20°-90° | |
观测区域 | Ф203mm(可旋转) | |
zui大高度 | 110mm(WD=10mm) | |
样品台控制 | 计算机控制5轴马达驱动优中心 | |
电子光学 | 电子枪 | 预对中钨灯丝 |
物镜光阑 | 可移动式4孔物镜光阑 | |
枪偏压 | 带可控4偏压 | |
检测器 | 埃弗哈特 索恩利二次电子检测器 高灵敏度半导体背散射电子探测器,五分割 | |
分析位置 | WD=10mm 取出角=35° | |
显示器 | 自动合轴 | 自动设定束流,自动合轴 |
自动图像调整 | 自动聚焦,自动消像散/聚焦,自动调整亮度和对比度 | |
存储图像精度 | 640×480像素,1280×960像素,2560×1920像素,5120×3840像素 | |
图像文件格式 | BMP,TIFF,JPEG | |
图像显示模式 | 全屏显示1280×960像素,小屏显示640×480像素, 双屏显示640×480像素×2,信号混合模式 | |
真空系统 | 操作 | 全自动程序 |
涡轮分子泵 | 210L/sec.×1 | |
机械泵 | 135L/min.(162L/min.60Hz)×1 | |
安全措施 | 断电保护,漏电保护 | |
辅助功能 | 光栅旋转,动态消像散 | |
动态聚焦/倾斜补偿功能 | ||
自由排版打印功能,字母/数字功能 | ||
三维动画维修指南 | ||
导航,测量方便,倾斜画面 |