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面议NSR-S622DArF浸没式扫描仪是通过进一步提高已验证的流线平台的准确性和生产力，用于20nm以下的高容量多模式应用。S622D建立在S621D流线型技术的基础上，通过提高镜头性能和自动对焦机制，提供了混合和匹配叠加(MMO)的关键增强。S622D提供了超高的生产率，每小时的吞吐量超过200个晶圆，MMO为3.5nm或更少，以支持芯片制造商的生产线。
