真空炉哪里容易漏气？检查方法与维修方案
时间：2021-12-16 阅读：107
一、真空炉容易漏气的位置
1、真空炉炉体外部容易漏气的位置有：炉门密封、主阀阀杆密封、气动球阀阀杆密封、放气阀阀芯密封、防爆阀阀芯密封、预抽阀阀杆密封、热电偶密封、加热电极密封等。
2、真空炉体内壁表面放气。
3、真空炉室夹层（包括炉门夹层）及气体冷却系统的水管漏水。
4、预抽阀的阀体内部漏气，充气组阀中充气阀（高真空气动碟阀）、补气阀、分压组阀（减压阀、微调阀、电磁阀）内部漏气。
二、检查真空炉漏气位置的方法
1、真空炉漏气检查方法
真空炉漏气故障维修的关键，是看能否准确地判断出故障点（漏气位置），检查方法如下：
（1）按照压升率测试方法进行压升率检测后，如果真空炉炉膛内的真空度一直下降，且管路真空度保持不降低，说明真空炉炉膛有漏气点。此时，应该用氦质谱检漏仪对真空炉炉膛可能存在漏气点的位置进行检漏，着重检查加热电极、热电偶安装孔和热电偶本身、气体连接法兰和充气阀门、炉门、压力表和压力传感器连接处、真空规管连接处等与外界有接口的地方；对于真空气淬炉，还应检查热交换器有无泄漏，通常内部循环设备的热交换器在设备的内部，难以检查，可以利用热交换器冷却水管的接口通入氦气的方法检漏。
（2）如果真空管路上的真空度很快下降，且真空室真空度保持较好或者略有提高，则应该对真空管路和真空泵系统进行检漏。
（3）如果真空管路和真空室真空度都一直降低，还应检查真空阀。
2、真空炉漏气检查步骤
（1）检查真空炉观察窗的玻璃视镜是否破裂，若破裂则应予以更换。
（2）检查观察窗上紧固玻璃视镜的内六角螺钉是否松动，若有松动情况，则应予以紧固，但一定要对称均匀紧固，且用力不得过大，以免压碎玻璃。
（3）检查观察窗内外密封圈（白色）是否老化，若老化，则需更换新密封圈。
（4）卸掉真空炉炉体底座上的自动充气装置，用沾汽油的干净抹布除去密封橡皮和充气密封面上的灰渣，重新照原样安装好。
（5）检查真空炉炉体底盘上测压处的密封情况，紧固螺母若有松动予以紧固，若密封圈损坏应更换。
（6）检查阴极部位的密封情况，紧固螺母若有松动予以紧固，若密封圈损坏应更换。
（7）检查真空炉炉体钟罩底部密封法兰面，如有锈迹、凹坑等损伤应及时处理。（注意：每次吊起钟罩后，应放置于橡皮板、木方或其它柔软的支撑物上，以防损伤密封法兰面。）
（8）检查炉体底盘上的大密封圈，如有损坏应及时修理或更换。（注意：每次吊起钟罩后，再次罩上钟罩前，先用干净毛刷将底盘及大密封圈上的灰渣除净，然后用沾汽油的干净抹布擦去密封法兰面及大密封圈上的灰渣，以防灰渣嵌入大密封圈中造成漏气。）
（9）检查真空炉抽气硬弯管各联结法兰面的紧固情况，若有松动，应均匀紧固。若密封圈损坏，应及时更换。
（10）检查真空炉碟阀内密封圈上是否粘有灰渣，若粘有灰渣可能造成蝶阀管不死而漏气。发现存有此种情况，应及时用沾汽油的干净抹布清理干净，然后涂上真空脂。注意：清理蝶阀密封圈时，切忌用汽油浸泡密封圈，否则密封圈涨大，蝶阀将无法开关。
三、真空炉漏气位置的维修方案
1、真空炉真空系统滑阀泵维修方案：检查滑阀泵内部部件配合间隙磨损情况，滑阀泵的轴头密封圈是否漏油，排气装置的排气阀片的密封情况，真空油路密封情况，真空泵油是否污染及测试滑阀泵的极限真空度。
2、真空炉真空系统罗茨泵维修方案：检测罗茨泵转子与转子之间、转子与泵腔内壁之间的间隙，检查齿轮及轴承磨损情况，罗茨泵的轴头密封圈情况，罗茨泵两端的润滑油是否污染及测试罗茨泵的极限真空度。
3、真空炉真空系统中扩散泵维修方案：检查泵芯各级喷嘴的位置和间隙是否正确，泵的加热功率及泵的自身冷却效果是否正常，扩散泵油是否氧化，扩散泵的油量是否满足要求。对扩散泵及与之连接的管道与阀门、真空测量点、冷阱等密封处进行检漏。测试扩散泵的极限真空度。检查真空炉扩散泵进出水温度，流量。许多单位由于冷却水有水垢造成扩散泵冷却效果不好，造成真空度满足不了技术指标要求。也可增加冷水机组。
4、炉体外部漏气部位维修方案：对炉门密封、主阀阀杆密封、气动球阀阀杆密封、放气阀阀芯密封、防爆阀阀芯密封、预抽阀阀杆密封、热电偶密封和加热电极密封等处密封进行检漏。
5、真空炉体内部放气维修方案：对真空炉体内部适当加热，使炉体内部吸附的气体释放出来而被抽走。抽真空的同时将氩、氮气充入炉体，使部分挥发物及吸附气体随着氩、氮气一起被抽走。再用酒精擦洗炉体的内壁，清除吸附物，减少放气量。长时间对炉室抽真空，使炉室表面放气减至下限。
四、预防真空炉漏气的方法
1、检查密封件是否清洁、平整无破损并具有良好的弹性，用酒精和抹布将密封件清理干净并涂抹真空脂。
2、检查密封件是否有破损或弹性不够，如果有，则应该更换密封件。
3、定期对密封圈进行更换即使密封圈完好无损，对于更换阀门等修理需要拆除密封圈时，重新安装时建议安装新密封圈。
4、对连接滑阀泵、罗茨泵和扩散泵的管道密封进行检漏，对前级阀阀杆的密封进行检漏，对防爆装置的密封等处进行检漏，保证上述密封处不漏气。
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