真空热处理即真空技术与热处理两个业相结合的综合技术，是指热处理工艺的部和部分在真空状态下进行的。真空热处理炉热率高，可实现快速升温和降温，可实现无氧化、无脱碳、无渗碳，可去掉工件表面的磷屑，并有脱脂除气等作用，从而达到表面光亮净化的果。价格从几千到几万不等。
真空热处理炉用途：
用于硬质合金、陶瓷、不锈钢材料、粉末冶金、金属注射成型，真空烧结脱蜡等实验与工艺。具有大抽气量、高真空度、温度均匀可控和无泄漏等点。其中1200℃小型真空热处理炉和1400℃隔热屏真空热处理炉是两种常见的热处理炉。
真空热处理炉点：
(1)水冷装置，真空热处理炉的炉壳、炉盖、电热元件导别处置(水冷电)、中间真空隔热门等部件，均在真空、受热状态下工作。在这种为不利的条件下工作，必须保证各部件的结构不变形、不损坏，真空密封圈不过热、不烧毁。因此，各部件应该根据不同的情况设置水冷装置，以保证真空热处理炉能够正常运行并有足够的使用寿命。
(2)采用低电压大电流：在真空容器内，当真空空度为几托lxlo-1托的范围内时，真空容器内的通电导体在较高的电压下，会产生辉光放电现象。在真空热处理炉内，严重的会产生弧光放电，烧毁电热元件、隔热层等，造成重大事故和损失。因此，真空热处理炉的电热元件的工作电压，般都不超过80100伏。同时在电热元件结构设计时要采取有措施，如尽量避免有尖 的部件，电间的间距不能太小窄，以防止辉光放电或者弧光放电的发生。
(3)大部分加热与隔热材料只能在真空状态下使用：真空热处理炉的加热与隔热衬料是在真空与高温下工作的，因而对这些材料提出了耐高温，蒸汽压低，辐射果好，导热系数小等要求。对抗氧化性能要求不高。所以，真空热处理炉广泛采用了钽、钨、钼和石墨等作加热与隔热构料。这些材料在大气状态下易氧化，因此，常规热处理炉不能采用这些加热与隔热材料。
(4)严格的真空密封：众历周知，金属零件进行真空热处理均在密闭的真空炉内进行，因此，获得和维持炉子原定的漏气率，保证真空炉的工作真空度，对确保零件真空热处理的质量有着非常重要的意义。所以真空热处理炉的个关键问题，就是要有可靠的真空密封结构。为了保证真空炉的真空性能，在真空热处理炉结构设计中必须道循个基本原则，就是炉体要采用气密焊接，同时在炉体上尽量少开或者不开孔，少采用或者避免采用动密封结构，以尽量减少真空泄漏的机会。安装在真空炉体上的部件、附件等如水冷电、热电偶导出装置也都必须设计密封结构。
(5)自动化程度高：真空热处理炉的自动化程度之所以较高，是因为金属工件的加热、冷却等操作，需要十几个甚至几十个动作来完成。这些动作内在真空热处理炉内进行，操作人员无法接近。同时，有些动作如加热保温结束后，金属工件进行淬火工序须六个动作并且要在15秒钟以内完成。在这样迅速的条件来完成许多动作，是很容易造成操作人员的紧张而构成误操作。因此，只有较高的自动化才能准确、及时按程序协调动。
真空热处理炉工作原理：
真空系统工作时，先启动机械泵、维持泵和扩散泵（加热），同时打开前阀和维持泵阀，对扩散泵内进行抽真空。当真空度达到系统某设定值时，罗茨泵启 动，同时旁路阀打开，前阀关闭，此时对真空室进行抽低真空当扩散泵加热至规定温度并且真空度高于规定值时，高阀打开，旁路阀关闭，前阀打开。此时对真 空室抽高真空，达到工艺要求的真空度以后，方可进行热处理工作。热加工过程完成后，由热交换器对真空室充入高纯氮气进行强制冷却，完成整个工艺过程。
其次，在真空条件下，碳具有很强的脱氧能力，其脱氧产物CO 不断被抽至系统之外，克服了采用金属脱氧剂脱氧的污染问题。真空炉工艺可精 确地控制合金的化学成分，对于含有和氧、氮亲和力强的活性元素Al、Ti、B、Zr 等，可控制在很少的范围内。对低熔点易挥发的金属杂质，如Pb、Bi、Sn、Sb 等能蒸发去除，这对提高材料性能起到重要作用。强烈的感应搅拌作用，能加速其反应速度，这对于熔池温度均匀、化学成分均匀等方面很有果。
真空热处理炉技术参数：
a．额定功率(kW)和电压(V)。
b．电相数。
c．炉膛的有加热区尺寸(mm)。
d．额定工作温度(℃)。
e．炉温的均匀性(℃)。
f． 大装炉量(kg)。
g．限真空度(Pa)。
h．工作真空度(Pa)。
i．压升率（Pa/min或Pa/h）。
j．空炉抽空时间(min)。
k．空炉升温时间(min)。
1．工件转移时间(min)。
m．气体的消耗量（m³/炉）。
n．冷却水的消耗量(m³/h)。
o．外形结构尺寸(m)。
p．炉体总重(kg)。
在上述技术参数中，重要的有限真空度、工作真空度和压升率，它们是整个真空炉的关键性，是衡量设备技术水平的硬指标，如果达不到则根本无法实现真空热处理的目的。因此它们既是设计的要求，更是验收过程中必不可省的指标，而压升率是指真空炉达到限真空度后关闭所有的阀，在单位时间内炉内压力的上升情况，这是检验真空炉气密性的数据。通常限真空度小于1.33×10-2Pa，而工作真空度在1.33～13.3 Pa，压升率不大于0.67 Pa/h。
真空热处理炉安操作：
1、真空热处理炉是近年来得到较大发展的*热处理设备，工件是在超低气压的空间里进行加热和冷却的。它具有质量好、节能、安和污染少等优点。
2、真空炉的发热体用低压电，但电源电压仍为380V，操作时仍需要安用电。
3、真空炉制造时，应确保不漏气、不漏水。真空炉炉体和炉盖等的密封是用橡胶件，因此需要用水隔层进行冷却。若水漏到炉膛里时，炉膛温度很高，会引起爆炸。真空炉处理的工件，应清洗净表面油污，同时避免淬火油槽的油蒸气进入炉膛。这些油蒸气和空气混合后将形成爆炸气氛，旦有明火或通电时就会产生爆炸。所以真空炉装料后应关闭炉门，将炉膛抽成真空后，方可通电加热。
