FGL（RTP）系列滑轨式管式炉(T max 1100℃)

滑轨管式炉一体化结构设计,用于1100℃以下快速升温快速降温的特殊工艺要求，通过移动炉体实现快速冷却的目的。同时也可以预先设定温度，然后移动到样品处，达到快速升温的效果。高纯石英管作为炉膛，无污染，抗急冷急热性能好。设备外形精巧美观，周边拓展性好，适合使用广泛的RTP工艺及CVD石墨烯工艺。

特点

u 工作温度RT～1000℃

u 程序控温仪控制精准、可编辑、储存并调用多段程序

u 采用陶瓷纤维FEC加热模块，电阻丝内嵌式环绕加热

u 炉壳结构，双层炉壳风冷结构

u 不锈钢双层密封法兰，进、出气美标针阀

u 两端可调节式法兰支撑结构，延长石英管的使用寿命

u 超温保护功能，当温度超过允许设定值自动断电

u 安全保护当炉体漏电时自动断电

额外选配：

u炉内测量系统：（氧含量检测系统、温度检测系统）

u真空系统：（旋片式机械泵、扩散泵机组、分子泵机组）

u气氛系统：（浮子流量计、质量流量计）

u监控系统：（温度记录仪、触摸屏远程监控）

注：选件需配置拓展柜体

技术参数：

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