双温区CVD管式梯度炉-合肥费舍罗热能技术有限公司手机版

详细介绍

FGL系列双温区-管式梯度炉(T max 1700℃和T max 1400℃)

FGL系列双温区-管式梯度炉专门设计用于有温度梯度要求的CVD工艺。两个温区独立控制，温区可单独使用。在同一腔体内实现不同的温度差，是CVD工艺的专用理想设备。

特点

u 程序控温仪控制精准、可编辑、储存并调用多段程序

u 炉壳结构，双层炉壳风冷结构

u 采用不锈钢双层密封法兰，进、出气配美标针阀

u 两端可调节式法兰支撑结构，延长刚玉管使用寿命

u 超温保护功能，当温度超过允许设定值自动断电

u 安全保护当炉体漏电时自动断电

u LED高强度抗破坏全不锈钢按钮，经久耐用

拓展选件:

u炉内测量系统：（氧含量检测系统、温度检测系统）

u真空系统：（旋片式机械泵、扩散泵机组、分子泵机组）

u气氛系统：（浮子流量计、质量流量计）

u监控系统：（温度记录仪、触摸屏远程监控）

技术参数：

注：给出的温度为工作管外测定，其它温区个数和加热区长度可根据客户工艺要求定制。

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