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产品用途: | ||||||
一般用于材料及产品的应力释放,特别是晶圆或者微电子材料的应力释放。在高温环境中,半导体及金属材料极易氧化,所以需要抽真空与充氮气联动加以保护。同样的这些材料也更容易受到灰尘污染,100级甚至更高的洁净度可保护这些材料不被污染。 | ||||||
型号 | ZK-DQKX-072 | ZK-DQKX-270 | ZK-DQKX-480 | ZK-DQKX-600 | ZK-DQKX-720 | ZK-DQKX-1000 |
内箱尺寸 | 40×45×40 | 60×90×50 | 80×100×60 | 100×100×60 | 100×120×60 | 100×100×100 |
W×H×D (cm) | ||||||
外箱尺寸 | 72×116×56 | 93×163×67 | 110×172×77 | 130×172×77 | 116×170×116 | 116×150×166 |
W×H×D(cm) | ||||||
温度范围 | 室温+25℃~200℃(300℃) RT+25℃~200℃(300℃) | |||||
温度波动度 | ±0.3℃ | |||||
温度均匀度 | ±1%℃ | |||||
解析精度 | 0.1℃ | |||||
氧气浓度 | 0-2000 PPM | |||||
升温时间 | 30分钟 | |||||
外箱材质 | 冷轧板+烤漆 | |||||
内箱材质 | SUS#201不锈钢板(200℃以上材质为SUS#304不锈钢板) | |||||
隔热材质 | 玻璃棉 | |||||
循环系统 | 离心风机风循环系统 | |||||
加热系统 | SUS#不锈钢高速加热器 | |||||
控制系统 | 按键式数显控制器 | |||||
氮气系统 | 流量计+压差表(选配氧气分析仪) | |||||
附件 | 控制状态指示灯,隔层架(2个,高度可调) | |||||
安全装置 | 相序保护,超温,过流,过载 | |||||
电源 | AC 3Ψ 380V 60/50Hz | |||||
定制服务 | 非标特殊要求,可定制 | |||||
结构设计: | ||||||
A、材质:内部采用不锈钢板制造,外部SS41钢板铁材加防锈处理及粉体烤漆 | ||||||
B、保温:采用高密度100K的耐高温保温棉﹐六面保温绝热。 | ||||||
C、门 :单开门式,美式全开后钮,门四周皆装置耐高温硅胶迫紧,坚固耐用. | ||||||
D、换气装置:换气量采用全进全出可调式风门,可直接与排风管连接. | ||||||
E、机台滑轮:采滑轮移动调整摆放位置与强力螺栓固定位置 | ||||||
F、箱内盘架:标配可活动调整栅盘架或不锈钢条状栅盘二只 | ||||||
G、送风系统:特制耐高温烤箱专用马达,配合多翼式风轮高速运转及单面水平送风循环,温度均匀。 | ||||||
H、电热系统:采用覆套式电热器无尘化电热发生器,低辐射热不易氧化,耐用期限5~10年。 | ||||||
产品特点: | ||||||
1. 内外箱材质:外箱为钢板烤漆 内胆为镜面不锈钢 | ||||||
2. 保温材质: 高效压缩玻璃棉 | ||||||
3. 保温装置: 无熔丝开关,超温保护开关,瓷质保险丝 | ||||||
4. 配 件: 可调隔层板2-6件 | ||||||
5. 电 源: 3ф380VAC±10%或2ф220VAC±10%在地 | ||||||
6. 风机延时断电功能(可另购配程控) | ||||||
7.高温氮气烘箱保险装置: 次超温报警,第二次超温切电功能,MCCB过载保护,温度自整定,电热鳍片式散热管形电热管 | ||||||
8. 运风系统: 强制送风循环系统及特别设计出风口,温度分布均匀度特佳 | ||||||
9. 控制形成 :温度到达设定温度后自动打开时间计,时间到达后切断发热电源,蜂鸣提示 |