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台面尺寸(mm) | 630×200 |
测量范围(mm) | 300×200 |
调焦范围(mm) | 0~80 |
分辨率(mm) | 0.001 |
平工作台通光尺寸(mm) | 300×200 |
圆工作台通光尺寸(mm) | φ90 |
工作台摆动角度 | ±15° |
仪器准确度 | 4+L/50μm(其中L为测量长度,单位:mm) |
工作台承重(kg) | 50 |
物镜放大率 | 10× | 20× | 50× | 100× |
物镜物方视场(mm) | φ80 | φ40 | φ16 | φ8 |
物镜工作距离(mm) | 206 | 123 | 85 | 78 |