1、膜厚仪专用SRP-4面铜探头是CMI563/CMI700专用的表面铜测试探头，SRP-4面铜探头由探针和探头线组成，探针使用寿命轻松达到30万次，当探针使用达到后，只需要更换探针即可，无需更换整条线组，大大的降低了客户使用成本。

2、参数：

精确度：化学铜：标准差0.2%，电镀铜：标准差0.3%

分辨率：0.1μm≥10μm，0.01μm<10μm，0.001μm<1μm，0.01mils≥1 mil，0.001mils<1mil

厚度测量范围：化学铜：0.25μm–12.7μm（10μin–500μin）

电镀铜：2.5μm–254μm（0.1mil–10mil）

线性铜线宽范围：203μm–7620μm（8mil–300mil）。