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FT150镀层测厚仪是日立新研发的一款无损镀层测厚仪,这款测厚仪利用照射径为30Um(FWHW:17um)的高强度X射线光束,分析印刷电路板、微小连接器、引线框架的微小部位,一级极薄膜层。另外我们推出新型号FT150h配有新开发的X射线聚焦毛细管。此款膜厚仪通过优化检测装置灯各部件,使检测灵敏度大幅度提升,可在不影响精度的情况下提高处理量。改进仪器设计,使得进出样品室和查看测量点更为容易。提升测量性能:通过优化X射线光束检测器,与本公司以往机型(FT9500X下同)相比,效率提高2倍。另外还增加了FT150h,可以测量微小部位的锡(Sn)和银(Ag)灯高能量元素。
高性能SDD检测器:
该检测器具有较高的能量分辨率和计数率。在原有产品基础上进行改良后,配置于FT150系列中。
高强度X射线光束:
采用新开发的X射线聚焦用毛细管,对于宽度小于100un的超小部件或微细半导体走线等,也能以最小X射线照射径;30un(FWHM:17un)测量膜厚。
大开口样品室门:
通过扩大开口部,使取放样品更为容易,在关门状态下也能方便地观察测量点。能清晰的看到取放样品的情况和样品状态。
高清摄像头:
跟以往机型相比较配备分辨率较以往样品观察摄像头更高的摄像头,能够快速而准确地观察数十un的微小样品。