量参数（um）

Ra、Rz、Rq、Rt

测量范围（um）

Ra/Rq： 0.05~10.0             Rz/Rt：0.1~50

取样长度（mm）

0.25，0.80，2.50

评定长度（mm）

1.25，4.0，5.0

行程长度（mm）

6

示值精度（um）

0.01

示值误差

±（7-10）%

示值变动性

＜12%

传感器触针针尖圆弧半径及角度

针尖圆弧半径：10 μm±1 μm

传感器触针静测力及其变化率

触针静测力：≤ 0.016N          测力变化率：≤ 800N/m

传感器导头压力

≤ 0.5N

电池

3.7V锂离子电池

外形尺寸及重量

106 mm×70 mm×24 mm      200g

工作环境条件 温度：

-20℃～40℃    相对湿度：<   90%     周围无振动、无腐蚀性介质