型号

①CMS-554C、CMS-574C、CMS-584C

②CMS-655C、CMS-685C、CMS-6105C

③CMS-886C、CMS-8106C、CMS-8126C

④CMS-10108C、CMS-10128C、CMS-10158C

行程（mm）

X: ①500 ②600 ③800 ④1000

Y: ①500/700/800 ②600/800/1000

③800/1000/1200 ④1000/1200/1500

Z: 400/500/600/800 

结构形式

移动桥式

空间精度

①②MPEe=(3.0+L/200)μm

③④MPEe=(3.5+L/200)μm

分辨率

0.5μm

外型尺寸(m)

①1.21*1.3/1.5/1.6*2.33 ②1.31*1.4/1.6/1.8*2.53

③1.66*1.9/2.1/2.3*2.85 ④1.85*2.1/2.3/2.6*3.25

整机重量(kg)

①     980/1120/1200 ②1100/1250/1400

③2200/2460/2720 ④2600/2880/3300

承重(kg)

400/500/600/800

包装外型尺寸(mm)

①1.3*1.6/1.8/1.9*2.22②1.4*1.7/1.9 /2.1*2.42                                         ③1.9*2.3/2.5 /2.7*2.4 ④2.4*2.45/2.65/2.95*2.4