测量范围：200mm ×100 mm  
分辨率：0.0002mm
准确度：(0.8+L/100)μm（其中L为被测长度，单位为mm）
工作台
方工作台尺寸：260mm×270mm   
方工作台承放工件高度：140mm
工作台承重：40kg
主显微镜立柱    
倾斜范围：±12°     
倾斜角度分度值：30′

物镜

CCD 摄像头    
1/3英寸彩色（或黑白）CCD，像素数：795×596
光学定位器
最小探测孔径: φ5mm   
探测深度：15mm
测量力：0.1N    
测头直径的检定极限误差：0.0005mm
环境要求：室温20℃±1℃，相对湿度40％－60％RH
仪器外形尺寸(mm) : 长1300×宽1250×高800
仪器质量： 450kg