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| 仪器型号 | VMU3020 | VMU4030 | VMU5030 | ||||||
| 工作台 | 工作台尺寸 | 600*390 | 700*490 | 800*490 | |||||
| 玻璃台尺寸 | 350*250 | 450*350 | 550*350 | ||||||
| 运动行程X.Y | 300*200 | 400*300 | 500*300 | ||||||
| Z轴升降行程 | 200(Focus) | 200(Focus) | 200(Focus) | ||||||
| X、Y、Z轴数显分辨率 | 0.5um | 0.5um | 0.5um | ||||||
| X、Y坐标示值误差 | ≤（1.5+L/200）L为被测长度，单位：mm） | ||||||||
| 仪器重量 | 330 | 450 | 500 | ||||||
| 外形尺寸 | 620*840*1020 | 720*1040*1020 | 800*1040*1020 | ||||||
| 电机 | 三轴运动速度 | 200mm/s | |||||||
| 三轴定位精度 | 0.001mm | ||||||||
| 影像系统 | 摄像机 | TEO彩色1/2″CCD摄像机 | |||||||
| 变焦镜头 | 自动变焦镜头带同轴光变焦镜头（二选一） | ||||||||
| 变焦镜头倍率 | 0.7-4.5X | ||||||||
| 视频总倍率 | 20-128X | ||||||||
| 物方视场 | 11.1-1.7mm | ||||||||
| 电源 | AC220V/AC110V | ||||||||
| 消耗功率 | 100W | ||||||||
| 仪器配件 | 1X镜筒（标配） | 0.5X镜筒（选配） | 工作距离 | ||||||
| 变焦镜头 | 0.7-4.5X | 0.7-4.5X | |||||||
| 添加镜头 | 视频放大 | 物方视场 | 视频放大 | 物方视场 | |||||
| 0.5X 可选 | 10X-64X | 22-3.4 | 5X-32X | 44-6.8 | 175 | ||||
| 标准型 | 20X-128X | 11.1-1.7X | 10X-64X | 22-3.4 | 92 | ||||
| 2X可选 | 40X-256X | 5.5-0.9 | 20X-128X | 11.1-1.7 | 36 | ||||
