AG半导体专用高精度自动测量仪

AG半导体专用高精度自动测量仪

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具体成交价以合同协议为准
2022-09-26 09:34:29
85
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东莞市索必克精密仪器有限公司

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产品简介

仪器特点:1、X、Y、Z三轴全自动测量仪2、高清130万数字相机3、Z轴软件自动精准聚焦

详细介绍

仪器特点:

1、X、Y、Z三轴全自动测量仪

2、高清130万数字相机

3、Z轴软件自动精准聚焦。该测量软件高度集成, 能提高检测效率及精度

4、主要应用检测半导体芯片的共面度、平面度、平整度

5、仪器又称激光平面度测量仪


主要参数:

型号

AG300CNC

行程(mm)

300×200×200

外形尺寸(mm)

1450X1050X1650

重量(kg)

450

承重(kg)

20

X Y轴测量精度(μm)

1.5+L/250

Z轴测量精度(μm)

2+L/200

重复精度(μm

2

XY轴运动速度

0-100mm/S(任意选择)

Z轴运动速度

0-20m/S(任意选择)

操作方式

摇杆+软件

光栅尺

0.0001mm分辨率光栅尺

导轨

中国台湾“上银”精密级直线导轨

丝杆

中国台湾“TBI”研磨滚珠丝杆

轴承

日本原装“NSK”双例组合向心球轴承

电机

日本“松下”交流伺服电机,定位精度≤0.001mm

光电限位开关

日本原装欧姆龙光电限位开关

图像传感器CCD

130万像素彩色高清数字CCD(千兆网)

光源

轮廓光

LED冷光源,球顶透射光实现平行光照射

表面光

48分区LED冷光源,软件操控,减少电气元件损坏。

光学镜头

0.7-4.5X同轴光自动变倍镜头

金相物镜

10X/0.2835mm长工作距离)

放大倍率

光学放大倍率:745X;影像放大倍率:2401100X

软件

SBK-CNC专用全自动标准版测量软件

电源

220V/50Hz/3A

工作环境

温度25℃±2,温度变化<2℃/hr,湿度3080%

影像仪专用桌

内置开关电源、控制器、电源控制开关、指示灯、急停开关、移动滚轮


Z轴自动聚焦、对焦重复性可达<0.002mm

适用于半导体封装、焊接贴片、环路高度、FPD面板、(LCM)晶片级CSP等领域

可选配激光测量平面度及深度。




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