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是压缩空气、氮气用超小型流量传感器。轻量、高速响应,电子部件等的吸附确认。
【超小型、轻量】(FSM-X系列)
通过分离传感头实现了超小型化。
实现了比以往体积减少52%,轻量4G、8mm。
产品包括传感头单体和带流路模块两种类型。
【非线性特性】(FSM-X系列)
将模拟输出作为非线性特性,提高了低流量领域的分辨率。
带显示180度翻转功能 可根据设备灵活显示。
远程零点调整 可通过外部输入调整零点。
高性能
高精度·高响应
重复精度:±1%F.S.以内
显示精度:±3%F.S.以内
响应时间:50msec
降低压力损失
通过流路再设计zui多降低50%
洁净规格
标准备有防发尘包装(P70)、禁油规格(P80)
简单设定 可通过操作快捷键简单变更设置。
可进行双向流体测量
有效缩短间隔时间
可并列安装 可通过更改模式,实现并列安装。
提高可视性 通过双色显示和流向箭头。
【高速响应】(FSM-V・FSM-X系列)
实现了以往无法实现的5ms的高速响应设计
【双方向测量】(FSM-V・FSM-X系列)
可进行双方向测量,吸附确认用途。
适用流体:洁净空气(JIS B 8392-1.1.1至5.6.2)、压缩空气(JIS B392-1.1.1至1.6.2)、氮气
高使用压力:0.7MPa
低使用压力:-0.09MPa
保证耐压力:1MPa
使用环境温度、湿度:0-50度、90%RH以下(不得结露)
使用流体温度:0-50度
日本CKD的FSM2-NVF102-A151-P80流量传感器