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产品简介：
FS4001-30-CV-A 流量传感器是专门为各类小流量气体的测量和过程控制而设计的。这一系列传感器均采用本公司自主研发的微机电系统（MEMS）流量传感芯片来制作，适用于各类清洁气体。的封装技术使之可用于各类管径，成本低、易安装、不需要温度压力补偿，可替代容积式或压差式的传统流量传感器。
产品特点：
- 传感器灵敏度高,有极小的始动流量
- 传感器芯片采用热质量流量计量,无需温度压力补偿,保证了传
- 感器的高精度计量
- 在单个芯片上实现了多传感器集成,使传感器的量程比大大提高
- 传感器的零点稳定度高
- 全量程高稳定性
- 全量程高精确度和优良的重复性
- 低功耗
- 低压损
- 响应时间快
尺寸图:
FS4001-30-CV-A 流量传感器主要参数：
性能参数 | FS4001 | 单位 | |
通 径 | 1.0 | 1.8 | mm |
大流量 | 30, 100, 200 | 500, 1000 | SLPM |
量程比 | >100：1 |
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精 度 | ±(1.5+0.2FS) | % | |
重复性 | 0.25 | %读数 | |
零点输出飘移 | ±30 | mV | |
输出飘移 | ±0.12 | %/oC | |
响应时间 | 4, 8, 16, 33 , 65 , 131 | mses | |
工作电源 | 8~18Vdc,50mA |
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输出方式 | 线性，RS232/模拟电压0.5~4.5Vdc |
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大流量压损 | 350 | 300 | pa |
大工作压力 | 0.5 | MPa | |
工作温度 | -10 ~ +55 | oC | |
存储温度 | -20 ~ +65 | oC | |
工作湿度 | <95%RH（无结冰、无凝露） |
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机械接口 | 可拆式软管接头 |
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校准方式 | 空气（或其他气体），20oC，101.325kPa |
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重量 | 15 | g | |
广东二氧化碳FS4001气体质量流量传感器
