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真空等离子清洗机产品原理：
等离子清洗机的结构主要分为三个大的部分组成，分别是控制单元、真空腔体以及真空泵。
1、控制单元：
控制单元主要分为半自动控制、全自动控制、PC电脑控制、液晶触摸屏控制四种方式。
而控制单元又分为两个大的部分：1）电源部分：主要电源频率有三种，分别是40KHz、13.56MHz、2.45GHz，其中13.56MHz是需要电源匹配器的，而2.45GHz又称为微波等离子。2）系统控制单元：分三种，按钮控制（半自动、全自动）、电脑控制、PLC控制（液晶触摸屏控制）。
2、真空腔体：
真空腔体主要是分为两种材质的：1）不锈钢真空腔体，2）石英腔体。
3、真空泵：
真空泵种类较多，其选择会根据用户的真空度要求、体积要求来配置。
真空等离子清洗机技术规格：
主要部件 指标名称 参数指标 清洗仓体 清洗仓材质 高纯石英 清洗仓尺寸 直径100mm;长度270mm 射 频 电 源 电源特性 该电源为全固态射频电源，采用高稳定高可靠的功放模块和直流模块，有效保障了电源的射频功率输出。采用高质量的电子元器件，使产品的可靠性得以保证。 电源优势 ●可长时间正常运行 ● 电源效率高、发热少 射频功率 0~100W连续可调/0~150W连续可调 信号频率 13.56MHz ±0.005% 反射功率 ≤100W 功率稳定度 ±0.1% 射频接头 N型头 整机效率 ≥75% 谐波分量 ≤-50 dBc 冷却方式 强制风冷 气 体 测 量 测量部件 浮子流量计 气体通道 两通道 A通道量程 10～100ml B通道量程 16～160ml 真 空 获 取 真空测量 数字真空计（电阻规） 真空抽取 双极旋片泵 电机转速 50Hz时为：1440；60Hz时为：1720。 抽气速率 50Hz时为：240L/Min；60Hz时为：288L/Min。 真空量程 0.1Pa～10000Pa 极限真空 0.5Pa 电机噪音 ≤56dB 管道接口 进气口：KF16;排气口KF16. 连接管道 KF16真空波纹管 真空阀门 KF16球阀 电机功率 400W 其 它 供电电源 AC220V 50/60Hz 整机功率 550W/600W 使用温度 -10℃ -- 40℃ 工作真空 ≤40Pa 整机尺寸 540mmX500mmX440mm 整机重量 58kg（含包装）
● 操作简单灵活
● 具有完善的反射功率保护功能
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