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实验室紫外线臭氧清洗机是一款紧凑型紫外线臭氧清洁机，是一种专门用于去除基材样品表面各种污染物的系统。紫外臭氧清洗机是一种简单易用的干法工艺，是清洁表面的高效方法。清洁效果是通过用合适的灯照射基板表面引起的，在紫外光谱范围内产生足够的能量。它是雾化氧和高活性臭氧的光敏化氧化过程，直接到表面的UV辐射刺激反应，生产挥发性烃产物，通过氧化去除纳米厚度的碳氢化合物导致具有显着润湿性的超洁净表面。这在玻璃和陶瓷表面的薄膜涂覆工艺之前非常重要。
实验室紫外线臭氧清洗机产品特点：
1.从基材样品表面去除各种污染物
2.使用干法工艺以高效方法清洁表面
3.在254nm至185nm之间的波线上产生能量
4.有氧气入口，臭氧去除泵，液晶显示单元
5.样品温度测量功能
6.用于指示清洁完成的蜂鸣器
7. 用于锁定进样托盘的锁定功能，以避免在操作过程中打开
实验室紫外线臭氧清洗机技术参数：
| 输入功率 | AC 220V±10%, 50/60Hz |
| 紫外灯 | • 紫外灯功率: 120W Max. • 波长: 254 nm and 185 nm • zui大基材尺寸: 150×150 mm ( 6"×6") |
| 腔室和样品台 | • 托盘尺寸: 176mm×168mm • 样品输送:滑动 |
| LCD显示器 | • 持续时间: 1 - 99 sec / min / hr • 样品温度测量功能 |
| 合规 | CE认证 |
| 保证 | 一年有限保修，终身支持（耐热玻璃室无保修） |
| 应用 | • 消除SPT，AFM**和表面的分子污染 • 固化UV-粘合剂 • SAM表面的紫外光图案化 • 氧化PDMS • 蚀刻、图案、锐化 • 清洁MEMS器件 • 清洁衬底表面，如Si，Ge，GaAs和所有氧化物晶体衬底 |
| 易损零部件 | 更换灯 |
