用场合 · 半导体材料、器件、印刷电路板和集成电路； · 超纯材料和超纯化学试剂； · 实验室和中试车间 · 汽车、家电表面抛光处理； · 其他高科技精微产品。详细介绍电子级超

纯水系统 

 水质符合美国ASTM标准，电子部超纯水水质标准(18MΩ*cm，15MΩ*cm，2MΩ*cm和0.5MΩ*cm四级) 
●预处理－反渗透－ 水箱－阳床－阴床－混合床－纯化水箱－纯水泵－紫外线杀菌器－精制混床－精密过滤器－用水对象 
●预处理－一级反渗透－加药机(PH调节)－中间水箱－第二级反渗透(正电荷反渗膜)－纯化水箱－纯水泵－紫外线杀菌器－0.2或0.5μm精密过滤器－用水对象 
●预处理－二级反渗透－中间水箱－水泵－EDI装置－纯化水箱－纯水泵－紫外线杀菌器－0.2或0.5μm精密过滤器－用水对象 
●预处理－二级反渗透－中间水箱－水泵－EDI装置－纯化水箱－纯水泵－紫外线杀菌器－精制混床－0.2或0.5μm精密过滤器－用水对象  (新工艺)
 

应用场合 
· 半导体材料、器件、印刷电路板和集成电路； 
· 超纯材料和超纯化学试剂； 
· 实验室和中试车间 
· 汽车、家电表面抛光处理； 
· 其他高科技精微产品。
 ●预处理－反渗透－ 水箱－阳床－阴床－混合床－纯化水箱－纯水泵－紫外线杀菌器－精制混床－精密过滤器－用水对象 
●预处理－一级反渗透－加药机(PH调节)－中间水箱－第二级反渗透(正电荷反渗膜)－纯化水箱－纯水泵－紫外线杀菌器－0.2或0.5μm精密过滤器－用水对象 
●预处理－二级反渗透－中间水箱－水泵－EDI装置－纯化水箱－纯水泵－紫外线杀菌器－0.2或0.5μm精密过滤器－用水对象 
●预处理－二级反渗透－中间水箱－水泵－EDI装置－纯化水箱－纯水泵－紫外线杀菌器－精制混床－0.2或0.5μm精密过滤器－用水对象  (新工艺)
 

应用场合 
· 半导体材料、器件、印刷电路板和集成电路； 
· 超纯材料和超纯化学试剂； 
· 实验室和中试车间 
· 汽车、家电表面抛光处理； 
· 其他高科技精微产品。
 

电子超纯水设备一般工艺流程： 

(水质符合美国ASTM标准，电子部超纯水水质标准（18MΩ*cm，15MΩ*cm，2MΩ*cm和0.5MΩ*cm四级) 
典型工艺2:原水→预处理→反渗透→EDI→精密过滤→用水点 
·预处理－反渗透－中间水箱－水泵－混合床－纯化水箱－纯水泵－紫外线杀菌器－精制混床－精密过滤器－用水对象 
·预处理－一级反渗透－加药机（ PH调节）－中间水箱－第二级反渗透－纯化水箱－纯水泵－紫外线杀菌器－0.2或0.5 μ m精密过滤器－用水对象 
·预处理－反渗透－中间水箱－水泵－ EDI装置－纯化水箱－纯水泵－紫外线杀菌器－0.2或0.5 μ m精密过滤器－用水对象 
·预处理－反渗透－中间水箱－水泵－ EDI装置－纯化水箱－纯水泵－紫外线杀菌器－精制混床－0.2或0.5 μ m精密过滤器－用水对象

EDI技术-电去离子法.doc

0ed5c98859fc35e28867dc3299526fc1.doc (67.00 KB)