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MEMS 可燃气体传感器利用MEMS工艺在Si基衬底上制作微热板，所使用的气敏材料是在清洁空气中电导率较低的金属氧化物半导体材料。当传感器所处存在气体环境中时，传感器的电导率随空气中被检测气体的浓度而发生改变。该气体的浓度越高，传感器的电导率就越高。使用简单的电路即可将电导率的变化转换为与该气体浓度相对应的输出信号。
检测气体种类
甲烷（CH4）： 1 – 10000ppm
丙烷（C3H8)：1-5000ppm
传感器特点
主要应用
技术指标
| 产品型号 | GM-402B | ||
| 产品类型 | MEMS可燃气体传感器 | ||
| 标准封装 | 陶瓷封装 | ||
| 检测气体 | 甲烷、丙烷等 | ||
| 检测浓度 | 1ppm~10000ppm（C3H8） | ||
| 标准电路条件 | 回路电压 | Vc | ≤24V DC |
| 加热电压 | VH | 2.8V±0.1V AC or DC | |
| 负载电阻 | RL | 可调 | |
| 标准测试条件下气敏元件特性 | 加热电阻 | RH | 80Ω±20Ω（室温） |
| 加热功耗 | PH | ≤80mW | |
| 敏感体电阻 | Rs | 1KΩ~30KΩ(in 5000ppm CH4) | |
| 灵敏度 | S | R0(in air)/Rs(5000ppm CH4)≥2 | |
| 浓度斜率 | α | ≤0.9(R5000ppm/R1000ppmCH4) | |
| 标准测试条件 | 温度、湿度 | 20℃±2℃；55%RH±5%RH | |
| 标准测试电路 | Vc:5.0V±0.1V； VH:2.8V±0.1V | ||
