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MEMS 口气气体传感器利用MEMS工艺在Si基衬底上制作微热板，所使用的气敏材料是在清洁空气中电导率较低的金属氧化物半导体材料。当环境空气中有被检测气体存在时传感器电导率发生变化，该气体的浓度越高，传感器的电导率就越高。使用简单的电路即可将电导率的变化转换为与该气体浓度相对应的输出信号。
传感器特点
本品采用MEMS工艺，结构坚固，对硫化氢、酒精、丙酮等灵敏度高；具有尺寸小、功耗低、灵敏度高、响应恢复快、驱动电路简单、稳定性好、寿命长等优点。
主要应用
迷你口气检测仪。
技术指标
| 产品型号 | GM-512B | ||
| 产品类型 | MEMS口气气体传感器 | ||
| 标准封装 | 陶瓷封装 | ||
| 检测气体 | 硫化氢、酒精、丙酮等 | ||
| 检测浓度 | 0.5ppm-50ppm(H2S) | ||
| 标准电路条件 | 回路电压 | Vc | ≤24V DC |
| 加热电压 | VH | 2.5V±0.1V ACorDC | |
| 负载电阻 | RL | 可调 | |
| 标准测试条件下 气敏元件特性 | 加热电阻 | RH | 80Ω±20Ω（室温） |
| 加热功耗 | PH | ≤50mW | |
| 敏感体表面电阻 | Rs | 10KΩ-100KΩ(in 5ppm H2S) | |
| 灵敏度 | S | Ro(in air)/Rs(5ppm H2S)≥2 | |
| 标准测试条件 | 温度、湿度 | 20℃±2℃；55%RH±5%RH | |
| 标准测试电路 | Vc:5.0V±0.1V； VH:2.5V±0.1V | ||
