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BY-GHE超高纯氦气净化器

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产品简介

超纯氦气净化器是采用新型气体净化材料，与各种活性气体形成稳定的化合物或固溶体，使气体达到目的净化的目的

产品气流量：1-300Nm3/h

产品纯度：>99.99999%

特点：本产品可现场再生，材料选用不锈钢抛光材料，处理精度高，流量大，寿命10年以上，经过净化后的气体可达到ppb级净化。

适用范围：微电子、半导体工业、半导体工艺设备、气体分析、研发。

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