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BX500T大平台工业显微镜配有大移动范围的载物台、落射照明器、平场无限远长工作距离明暗场物镜、大视野目镜、图像清晰,衬度好。是针对半导体工业、硅片制造业、电子信息产业、治金工业开发的,作为高级工业显微镜使用。可进行明暗场观察、落射偏光、DIC观察,广泛用于工厂、研究机构、高等院校对硅片、电路基板、FPD、精密模具的检测分析。
技术规格 | |
观察头 | 30°铰链式三目(50mm-75mm) |
目镜 | WF10×/25mm |
WF10×/20mm,带0.1mm十字分划板 | |
转换器 | 带DIC插孔明暗场五孔转换器 |
物镜 | 平场无限远长工作 距离明暗场物镜:5×/0.1B.D/W.D.29.4mm |
10×/0.25B.D/W.D.16mm | |
20×/0.40B.D/W.D.10.6mm | |
40×/0.60B.D/W.D.5.4mm | |
平台 | 双层移动平台 |
平台尺寸: 350mm×310mm | |
移动范围:250mm×250mm | |
滤色片 | 插板式滤色片(绿、蓝、中性) |
调焦 | 粗、微动同轴调焦,采用齿轮齿条传动机构 微动格值0.002mm |
光源 | 落射照明:带孔径光栏和视场光栏,卤素灯12V/100W,AC85V-230V亮度可调节 |
偏光装置 | 检偏镜可360度转动,起偏镜、检偏镜均可移出光路 |
检测工具 | 0.01mm测量软件 |
可供附件 | 目镜:WF15×/17mm、WF20×/12.5mm |
130万、200万、300万、500万像素CMOS电子目镜 | |
平场无限远长工作距离明暗场物镜:50×/0.55B.D/W.D.5.1mm、 | |
80×/0.75B.D/W.D.4mm、100×/0.80B.D/W.D.3mm | |
二维测量软件 | |
专业金相图像分析软件 | |
DIC(10×、20×、40×、100×) | |
摄影装置及CCD接口0.5×、0.57×、0.75× | |
压平机 | |
彩色1/3寸CCD 520条线 |
1、采用了UIS高分辨率、长工作距离无限光路校正系统的物镜成像技术。
2、 拓展了物镜的复用技术,无限远物镜与所有观察法相兼容包括明暗视野法、偏光法,DIC并在 每一观察法中均提供高清晰的图像质量。
3、 采用非球面Kohler照明,增加观察亮度。
4、 WF10×(Φ25)超大视野目镜,长工作距离明暗场金相物镜。
5、 可插DIC微分干涉装置的转换器。