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所在地
| | ESC1010ZA | ESC1020ZA | ESC1030ZA | ESC1045ZA |
| 有效倾斜角 | ±10° | ±20° | ±30° | ±45° |
| 外加电压 | DC5V | |||
| 空间直线度误差 | ±0.5% FS (FS＝20°) | ±1.0% FS (FS＝40°) | ±1.5% FS (FS＝60°) | ±2.5% FS (FS＝90°) |
| 倾角灵敏度 | 0.01°以下 | 0.02°以下 | 0.02°以下 | 0.04°以下 |
| 指数点 | 50±3% Vin | 50±3% Vin | 50±3% Vin | 50±3% Vin |
| 使用电流 | 10mA 以下 | |||
| 反应速度 （阶段响应） | 约0.5秒 |
| 质量 | 约60ｇ |
| 使用温度范围 | -20～+80℃ | |||
| 密封性 | IP50 | |||
| EMS | 100V/m | |||
| 静电耐压(接触) | ±12kV | |||
| 端子间静电耐压 | ±12kV | |||
| 温度特性-20℃～80℃（25℃标准差） | ±0.6°FS | ±0.6°FS | ±0.8°FS | ±0.8°FS |
