陶瓷滤芯PGF-11系列气体过滤器-张家港普瑞伦半导体设备有限公司手机版

陶瓷滤芯PGF-11系列气体过滤器

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产品简介

● 超大流量适用于输入侧一次性流量在500～3,000ℓ/min的大型气体管线场合。● 高过滤精度0.003μm的高过滤精度，使用脉动性强的陶瓷元素，几乎不会堵塞，因此几乎没有必要进行定期性的维护。● 高性能专用的200℃烘烤加热器（可选项），能把水分、氧等成分控制在ppb以下。

过滤精度0.003μm　推荐流量500～3,000L/min

● 超大流量
适用于输入侧一次性流量在500～3,000ℓ/min的大型气体管线场合。

● 高过滤精度
0.003μm的高过滤精度，使用脉动性强的陶瓷元素，几乎不会堵塞，因此几乎没有必要进行定期性的维护。

● 高性能
专用的200℃烘烤加热器（可选项），能把水分、氧等成分控制在ppb以下。

规格：

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