集成式FI_SI_系列气体过滤器
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张家港普瑞伦半导体设备有限公司
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各种集成式气体过滤器，高过滤精度和耐腐蚀性的陶瓷过滤器和全金属过滤器（过滤精度 0.003μm 推荐流量 几LPM～120LPM）
● 高过滤精度高过滤精度的陶瓷单元类型（0.003μm）和金属单元类型（0.003μm）满足不同需要。
● 具备多种型号C SEAL/H1G SEAL/W SEAL 均有对应型号。（C SEAL/W SEAL 也对应1.125英尺类型）
● 宽流量范围从几个LPM小流量到120LPM的大流量的各种型号。
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