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管状部件 过滤精度0.003μm 推荐流量10L/min
● 超小型、轻量
SPC系列是超小型（Φ21×84mm）、轻量（90g）设计。于安装在空间狭小的气瓶柜等装置的场合。
● 高过滤精度
滤芯采用多层构造的陶瓷、过滤精度非常出色。全部过滤器在交付时，经CNC粒子计数统计，确认0.003μm的粒子为零后才出货。
● 低排气性能
陶瓷过滤器和全金属过滤器相比，水分吸收量少，具有出色的排气性能。
●
过滤器构造充分考虑抑制过滤器内部的气体滞留部分，具备出色的气体置换性。
规格：
