金属滤芯UCD系列气体过滤器
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张家港普瑞伦半导体设备有限公司
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垫片式PGH系列
圆盘状部件过滤精度0.003μm 推荐流量10～100L/min
● 过滤器材料全部采用SUS316L，不用担心腐蚀和中间产物，同时具备较高的耐热性能。
● 使用氮气（N2）输入，当过滤器输入侧压力为0.2MPa、流量为90SLM时，输出侧压力损失△为0.05MPa。
● 固定或脉动方式下过滤精度经CNC确认达到0.003μm，实现了超微ULSI的制造的成品率大幅度提高。
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