金属滤芯UCS-m系列气体过滤器
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张家港普瑞伦半导体设备有限公司
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管状部件 过滤精度0.003μm 推荐流量15～250L/min
● 全部材质采用SUS316L不锈钢
● 高清浄度：全部产品在交付前经过内部特殊洗净，通入高纯度氮气的同时进行高温烘烤处理。
● 高流量、高压差下也可以高效去除0.003μm以上的粒子。
● 高内热性 460℃
● 具备10ℓ/min的小流量到250ℓ/min的中流量各种型号。
● 低压力损失:和以往的金属过滤器相比，压力损失非常低，体积小巧但能够处理高流量气体。
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