哈司特镍合金UCH-M系列气体过滤器
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张家港普瑞伦半导体设备有限公司
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过滤精度0.003μm 推荐流量15~250L/min
● 全部材质采用哈司特镍合金®。
● 高洁净度:全部产品交付出货时,内部经过特殊洗净,通入高纯度氮气的同时进行高温烘烤处理。
● 高流量高压差的情况下,也能高效率的除去0.003μm以上の粒子。
● 高耐热性能460℃
● 具备10ℓ/min的小流量用到250ℓ/min的中流量用的各种型号供选择。
● 低压力损失:和以前的金属过滤器相比较,压力损失极低、体积小巧且能够处理高流量的气体。
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