金属滤芯RGF系列气体过滤器
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张家港普瑞伦半导体设备有限公司
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管状部件 过滤精度0.1～10μm 推荐流量40～60L/min
● 过滤精度范围宽可以对应固定或脉冲方式下的0.1～10μm过滤精度。
● 高耐腐蚀性过滤器没有采用腐蚀性材料，不用担心被腐蚀或者生成中间产物。
● 排气特性和专用的烘烤加热器并用，APIMS方式测定的排气（水分量）能够达到1.2ppb。继续使用可以达到0.1ppb的水平。过滤器内部的杂质预先采用特殊洗净方式去除，排气性能更加出色。
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