PTFE滤芯STF-3000系列气体过滤器
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张家港普瑞伦半导体设备有限公司
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过滤精度0.003μm 推荐流量40~150L/min
● 高过滤精度过滤膜采用PTFE,多年使用都不会变形,具备安定的过滤性能。全部产品经过粒子计数、0.003μm的微粒子捕捉实验。
● 低压力损失PTFE膜采用2层构造,同时兼具高过滤性能和高空孔率,压力损失低、流量高。
● 高耐腐蚀性滤芯膜、滤芯支持体、O型密封圈等均采用氟化树脂,外罩采用SUS316L,气体接触部分全部精加工,粗糙度研磨至Rmax 0.5μm以下,经过静态处理。
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