电子束光刻胶 AR-PC 5090.02, 5091.02（导电胶）

Allresist 紫外光刻胶 AR-N 4400

Allresist 光刻胶 AR系列

徕卡 EM ACE600 高真空镀膜机

Ted Pella 108Auto 108镀膜仪

原子层沉积系统 R系列

PECVD+RIE等离子体增强化学气相沉积和反应

Denton 等离子体增强型化学气相沉积 PE-CVD

SAL3000原子层沉积系统

：CL 7308

：CLS 5000

德国布鲁克 AVANCE NEO 核磁共振 (NMR) 波谱仪