光氧净化器的工作机理是采用微波场激发无极灯，从而产生高强的紫外线，这种紫外线是目前工业UV/O3紫外灯中剂量和能量大的紫外线，它可以在较短的时间内裂解硫化氢，氨气等键能小于880kJ/mol的分子键。一般情况下，光解的时间是大于1秒的，无极灯紫外线同样能裂解自然界中相对比较稳定的氮氮叁键。无极灯紫外线光解氧气产生臭氧，臭氧能速度适宜氧化金属性较强的污染物，臭氧量可根据污染物的浓度以及后续反应时度以及后续反应时间设定。

光氧净化器无极灯的使用寿命可以达到5000小时，它是没有电极的。我们 不用考虑由于电极氧化锡老化导致的   性问题，这也在很大程度上提高了紫外灯的使用寿命，也克服了光氧催化净化器加工中电极绝缘和密封所带来的结构问题。我们可以随意改变无电极的形状和放置位置，从而满足废气净化工程的调试需要，从而避免设备结构固定造成的机械破坏。微波场的热效应不仅可以提高系统的氧化速度，还可以光解作用。虽然，微波场不能使分子离子化，但它可以以亿倍的速度提高离子化的分子的运动速度，提升光子的撞击能量，达到雪崩式裂解污染物的作用。